氦質譜檢漏儀由離(lí)子(zǐ)源、分析器、收集器、冷陰極電離(lí)規組成的(de)質譜室和(hé)抽氣系統及電氣部分等組成。
氦質譜檢漏儀的(de)進展：
經過近半個世紀的(de)努力，今天的(de)氦質譜檢漏儀已告别了四十年(nián)代初期的(de)情形。
集中體現在如(rú)下幾個方面：
（1）便攜式：zui近各國(guó)推出的(de)小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高(gāo)，而且便于攜帶，給野外作業和(hé)高(gāo)空作業提供了比較大的(de)方便。
（2）高(gāo)壓強下檢漏：檢漏口壓強可(kě)高(gāo)達數百帕左右，對檢測大系統和(hé)有(yǒu)大漏的(de)工件很有(yǒu)益。
（3）自(zì)動化程度高(gāo)：自(zì)動校準氦峰，自(zì)動調節零點，量程自(zì)動轉換，自(zì)動數據處理(lǐ)，可(kě)外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一(yī)個按鈕即可(kě)完成一(yī)次的(de)全檢漏過程。
（4）全無油的(de)幹式檢漏：有(yǒu)些國(guó)家生産的(de)
氦質譜檢漏儀，可(kě)采用幹式泵，達到無油蒸氣的(de)效果，為(wèi)無油系統及芯片等半導體器件的(de)檢漏，提供了有(yǒu)利條件。
（5）檢漏範圍寬：現今生産的(de)四極檢漏儀，質量範圍很寬，不僅可(kě)檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏儀自(zì)身保養小知識
（1）前級真空泵的(de)定期換油及深度保養；
（2）電磁閥組的(de)超聲清洗；
（3）質譜模塊組件的(de)超聲清洗以及分子(zǐ)泵的(de)定期保養維護。
氦質譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制産品。設備內(nèi)芯的(de)制造借鑒*技術，整機(jī)設置合理(lǐ)、性能穩定。具有(yǒu)靈敏度高(gāo)，反應快，開機(jī)時間短(duǎn)等特點。檢漏效果達到*水平。
