氦質譜檢漏儀實際上可(kě)以說是一(yī)個檢氦儀，通過檢測氦氣的(de)含量來确定是否有(yǒu)洩漏。而對氦的(de)檢測則使用的(de)是質譜儀，是隻檢測氦的(de)質譜儀，這種質譜儀将其它質量數的(de)氣體都屏蔽掉了。
　　氦質譜檢漏儀為(wèi)氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行(xíng)檢漏的(de)質譜儀。氦氣的(de)本底噪聲低(dī)，分子(zǐ)量及粘滞系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。将這種氣體噴到接有(yǒu)氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的(de)工作狀态）的(de)被檢容器上，若容器有(yǒu)漏孔，則分析儀即有(yǒu)所反應，從而可(kě)知漏孔所在及漏氣量大小。
　　氦質譜檢漏儀系統的(de)檢漏方式通常有(yǒu)兩種，一(yī)種為(wèi)常規檢漏，另一(yī)種為(wèi)逆擴散檢漏。逆擴散原理(lǐ)如(rú)圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子(zǐ)泵進氣口一(yī)端，漏入的(de)氦氣由分子(zǐ)泵出氣口逆着泵的(de)排氣方向進入安裝在泵的(de)進氣口端的(de)質譜管內(nèi)而被檢測。這一(yī)檢漏方式是基于分子(zǐ)泵對不同質量的(de)氣體具有(yǒu)不同壓縮比（氣體在分子(zǐ)泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的(de)逆擴散程度不同程度而設計的(de)。
　　氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統和(hé)電氣部分等組成。氦質譜檢漏儀的(de)內(nèi)部一(yī)般有(yǒu)标準漏孔，可(kě)将标準漏孔拆卸進行(xíng)校準，如(rú)果不能單獨校準标準漏孔，就可(kě)考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行(xíng)漏率部分的(de)校準，本文主要讨論這種情況下氦漏率的(de)校準方法。
　　氦質譜檢漏儀将僅需兩個按鈕的(de)簡便操作同*的(de)專業系統智能結合起來。質譜儀與真空系統的(de)結合提供了強大的(de)性能，能為(wèi)不同的(de)應用提供廣泛的(de)測試方法。氦質譜檢漏儀廣泛的(de)選項帶來了巨大的(de)配置靈活性，極富活力的(de)設計創意令氦質譜檢漏儀能夠在嚴苛的(de)環境中可(kě)靠地(dì)運行(xíng)，滿足苛刻的(de)工業标準。