氦質譜檢漏儀關鍵部件均為(wèi)進口，性能穩定可(kě)靠。不僅靈敏度高(gāo)，而且操作方便，能夠雙燈絲自(zì)動切換、自(zì)動調零、自(zì)動校準和(hé)自(zì)動量程切換。氦質譜檢漏儀可(kě)以對具有(yǒu)內(nèi)腔的(de)微電子(zǐ)或半導體器件封裝的(de)氣密性進行(xíng)細檢漏。 此檢測方法使用的(de)示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有(yǒu)質量數小、重量輕并且有(yǒu)滲透能力強的(de)優點，達到了細檢漏的(de)目的(de)。
　　氦質譜檢漏儀特點：
　　1.檢測時間和(hé)周期非常短(duǎn)，可(kě)以達到5s以內(nèi)；
　　2.檢測的(de)介質比較常用，僅需壓縮空氣即可(kě)；
　　3.不會受到主觀因素判斷的(de)影響；
　　4.檢測的(de)數據；
　　5.自(zì)動生成數據保存，可(kě)追溯數據來源。
　　氦質譜檢漏儀進展的(de)集中體現在如(rú)下幾個方面：
　　（1）便攜式：zui近各國(guó)推出的(de)小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高(gāo)，而且便于攜帶，給野外作業和(hé)高(gāo)空作業提供了比較大的(de)方便。
　　（2）高(gāo)壓強下檢漏：檢漏口壓強可(kě)高(gāo)達數百帕左右，對檢測大系統和(hé)有(yǒu)大漏的(de)工件很有(yǒu)益。
　　（3）自(zì)動化程度高(gāo)：自(zì)動校準氦峰，自(zì)動調節零點，量程自(zì)動轉換，自(zì)動數據處理(lǐ)，可(kě)外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一(yī)個按鈕即可(kě)完成一(yī)次的(de)全檢漏過程。
　　（4）全無油的(de)幹式檢漏：有(yǒu)些國(guó)家生産的(de)檢漏儀，可(kě)采用幹式泵，達到無油蒸氣的(de)效果，為(wèi)無油系統及芯片等半導體器件的(de)檢漏，提供了有(yǒu)利條件。
　　（5）檢漏範圍寬：現今生産的(de)四極檢漏儀，質量範圍很寬，不僅可(kě)檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
　　氦質譜檢漏儀能為(wèi)不同的(de)應用提供廣泛的(de)測試方法，含有(yǒu)渦輪分子(zǐ)泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子(zǐ)元件和(hé)操作頁面，以及可(kě)選功能組件。氦質譜檢漏儀在許多領域裏得到廣泛的(de)應用,例如(rú),在航空航天領域裏宇宙飛(fēi)船、航天飛(fēi)機(jī)、火箭、衛星、飛(fēi)機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術。