氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行(xíng)檢漏的(de)質譜儀。氦氣的(de)本底噪聲低(dī)，分子(zǐ)量及粘滞系數小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。将這種氣體噴到接有(yǒu)氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的(de)工作狀态)的(de)被檢容器上，若容器有(yǒu)漏孔，則分析儀即有(yǒu)所反應，從而可(kě)知漏孔所在及漏氣量大小。
影響氦質譜檢漏儀靈敏度的(de)因素包括實際檢測條件、輔助真空系統以及操作人員的(de)技術等多方面。這次螺杆真空泵廠家分享的(de)主要是其中離(lí)子(zǐ)源質譜分析管受到污染後的(de)維護方法。當發現檢漏儀的(de)靈敏度降低(dī)，而檢漏儀的(de)工作真空度狀态良好，放大器的(de)各級工作電壓也符合标準要求，就基本上可(kě)以确定檢漏儀靈敏度降低(dī)的(de)問題來源于離(lí)子(zǐ)源的(de)質譜分析管受到了嚴重污染。
氦質譜檢漏儀檢漏時，産生測量誤差的(de)主要來源主要包括8個方面：
，氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，标準漏孔所在的(de)位置與被檢漏孔的(de)位置不同，即，标準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的(de)距離(lí)相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導緻經二者進入檢漏儀的(de)氦氣量可(kě)比性差。
第二，進入被檢漏孔和(hé)标準漏孔的(de)氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準确地(dì)給出氦氣壓力和(hé)分壓比的(de)數值而導緻無法換算，這時也會産生漏率測量誤差。
第三，所用标準漏孔的(de)标稱漏率有(yǒu)誤差。
第四，氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的(de)線性關系差。
第五，校準靈敏度或用比較法确定漏孔漏率時，所用标準漏孔與被檢漏孔的(de)氣流特性不同。
第六，檢漏儀的(de)性能不穩定。
第七，氦氣純度不穩定或存在誤差。
第八，之後也就是檢漏操作人員的(de)因素，包括素質、責任心、技術水平以及工作經驗等。
氦質譜檢漏儀是用氦氣為(wèi)示漏氣體的(de)專門用于檢漏的(de)儀器，它具有(yǒu)性能穩定、靈敏度高(gāo)的(de)特點。是真空檢漏技術中靈敏度高(gāo)，用得普遍的(de)檢漏儀器。
