氦質譜檢漏儀為(wèi)氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行(xíng)檢漏的(de)質譜儀。
氦質譜檢漏儀中沒有(yǒu)手動閥，現已采用自(zì)控閥自(zì)動調節運轉時的(de)誤差。同時用渦輪分子(zǐ)泵取代了油擴散泵, 以消除可(kě)能造成的(de)油返流。計算機(jī)技術也在檢漏儀中獲得應用。運轉、控制和(hé)輸出數據均由計算機(jī)自(zì)動操作完成。典型的(de)示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作隻須按各種按鈕自(zì)動進行(xíng)。
檢漏儀現在已經滲透到軍工、航空航天、新能源、電子(zǐ)器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行(xíng)業。檢漏儀在未來的(de)歲月中還将在許多的(de)工業領域中得到新的(de)應用。
氦質譜檢漏儀的(de)優點集中體現在以下幾個方面：
（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高(gāo)，而且便于攜帶，給野外作業和(hé)高(gāo)空作業提供了比較大的(de)方便。
（2）高(gāo)壓強下檢漏：檢漏口壓強可(kě)高(gāo)達數百帕左右，對檢測大系統和(hé)有(yǒu)大漏的(de)工件很有(yǒu)益。
（3）自(zì)動化程度高(gāo)：自(zì)動校準氦峰，自(zì)動調節零點，量程自(zì)動轉換，自(zì)動數據處理(lǐ)，可(kě)外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一(yī)個按鈕即可(kě)完成一(yī)次的(de)全檢漏過程。
（4）全無油的(de)幹式檢漏：有(yǒu)些國(guó)家生産的(de)檢漏儀，可(kě)采用幹式泵，達到無油蒸氣的(de)效果，為(wèi)無油系統及芯片等半導體器件的(de)檢漏，提供了有(yǒu)利條件。
為(wèi)适應檢漏口壓強的(de)變化和(hé)對靈敏度要求的(de)不同，分子(zǐ)泵一(yī)般采用多級構造和(hé)幾種不同的(de)轉速。例如(rú)可(kě)通過采用改變分子(zǐ)泵轉速來達到此目的(de)，且提高(gāo)檢漏靈敏度。另外，逆擴散檢漏方式，實現了高(gāo)壓強下檢漏，也為(wèi)正壓吸槍檢漏提供了良好的(de)條件。
氦質譜檢漏儀質量範圍很寬，不僅可(kě)檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子(zǐ)泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質譜室的(de)污染問題，而且對快速啓動儀器和(hé)快速停機(jī)做(zuò)出了很大貢獻。
